Elektronenmikrosonde (EPMA/WDX)
Die Methode ermöglicht genaue chemische Analysen von Werkstoffen jeglicher Art mit hoher örtlicher Auflösung (1-2 Mikrometer). Es können alle Elemente inklusive der “leichten“ Elemente ab der Ordnungszahl 5 (z.B. O, C oder N) analysiert werden.
Im Mikrobereich analysiert
Ein fein gebündelter Elektronenstrahl erzeugt am Untersuchungsobjekt Röntgenstrahlung. Die Röntgenwellenlängen sind für Probenelemente charakteristisch. Durch die Analyse der Röntgenstrahlung auf Wellenlängen und Intensitäten ist die Bestimmung der Elementkonzentrationen mit hoher Genauigkeit möglich. Die Elektronenstrahl-Mikroanalyse dient der quantitativen Elementanalyse von Festkörpern im Mikrobereich. Es können qualitative und quantitative Punktanalysen sowie Konzentrationsprofile (Linescans) und Flächenanalysen (Elementverteilungsbilder) durchgeführt werden. Die Nachweisgrenze beträgt je nach Element und Probe 10-500 mg/g (ppm).
Anwendungsgebiete:
- Chemische Zusammensetzung sehr kleiner Proben
- Lokale Analyse im Mikrometerbereich (Phasen, Einschlüsse, …)
- Zusammensetzung von Schichten (Plasmaspritzschichten, galvanische Schichten, Oxidschichten, etc.)
- Spurenanalytik